Ise agbese Chip MBE Ti pari ni Awọn ọdun Ti o ti kọja

Imọ ọna ẹrọ

Molecular beam epitaxy, tabi MBE, jẹ ilana tuntun fun idagbasoke awọn fiimu tinrin didara giga ti awọn kirisita lori awọn sobusitireti gara.Ni awọn ipo igbale giga-giga, adiro alapapo ti ni ipese pẹlu gbogbo iru awọn paati ti a beere ati ṣe ina nya si, nipasẹ awọn ihò ti a ṣẹda lẹhin ibajọpọ tan ina atomiki tabi tan ina molikula, abẹrẹ taara si iwọn otutu ti o yẹ ti sobusitireti gara kan, ti n ṣakoso tan ina molikula si Ṣiṣayẹwo sobusitireti ni akoko kanna, o le ṣe awọn moleku tabi awọn ọta ni awọn ipele titete gara lati ṣe fiimu tinrin lori “idagbasoke”.

Fun iṣẹ deede ti ohun elo MBE, mimọ giga, titẹ kekere ati nitrogen olomi-mimọ ni a nilo lati wa ni igbagbogbo ati gbigbe ni iduroṣinṣin si iyẹwu itutu agbaiye ti ẹrọ naa.Ni gbogbogbo, ojò ti o pese nitrogen olomi ni titẹ ti o wu laarin 0.3MPa ati 0.8MPa. Liquid nitrogen at -196℃ jẹ irọrun vaporized sinu nitrogen lakoko gbigbe ọkọ opo gigun ti epo.Ni kete ti nitrogen olomi pẹlu ipin-omi gaasi ti iwọn 1:700 ti jẹ gasified ninu opo gigun ti epo, yoo gba iye nla ti aaye ṣiṣan nitrogen olomi ati dinku sisan deede ni opin opo gigun ti epo nitrogen olomi.Ni afikun, ninu ojò ipamọ nitrogen olomi, o ṣee ṣe lati wa awọn idoti ti a ko ti sọ di mimọ.Ninu opo gigun ti epo nitrogen, aye ti afẹfẹ tutu yoo tun yorisi iran ti slag yinyin.Ti a ba tu awọn idoti wọnyi sinu ẹrọ, yoo fa ibajẹ airotẹlẹ si ẹrọ naa.

Nitorinaa, omi nitrogen ti o wa ni ibi ipamọ ita gbangba ti gbe lọ si ohun elo MBE ni idanileko ti ko ni eruku pẹlu ṣiṣe giga, iduroṣinṣin ati mimọ, ati titẹ kekere, ko si nitrogen, ko si awọn aimọ, awọn wakati 24 ko ni idilọwọ, iru eto iṣakoso gbigbe jẹ a oṣiṣẹ ọja.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Ibamu MBE ẹrọ

Niwon 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ti wa ni iṣapeye ati imudarasi eto yii ati ifọwọsowọpọ pẹlu awọn aṣelọpọ ohun elo MBE agbaye.Awọn aṣelọpọ ohun elo MBE, pẹlu DCA, REBER, ni awọn ibatan ifowosowopo pẹlu ile-iṣẹ wa.Awọn olupese ohun elo MBE, pẹlu DCA ati REBER, ti ṣe ifowosowopo ni nọmba nla ti awọn iṣẹ akanṣe.

Riber SA jẹ olupese agbaye ti o jẹ oludari ti awọn ọja epitaxy ti molikula (MBE) ati awọn iṣẹ ti o jọmọ fun iwadii semikondokito agbo ati awọn ohun elo ile-iṣẹ.Ẹrọ Riber MBE le ṣafipamọ awọn ohun elo tinrin pupọ lori sobusitireti, pẹlu awọn idari giga pupọ.Awọn ohun elo igbale ti HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ti ni ipese pẹlu Riber SA Awọn ohun elo ti o tobi julo ni Riber 6000 ati pe o kere julọ jẹ Iwapọ 21. O wa ni ipo ti o dara ati pe awọn onibara ti mọ.

DCA ni agbaye asiwaju ohun elo afẹfẹ MBE.Lati ọdun 1993, idagbasoke eto eto ti awọn imuposi ifoyina, alapapo sobusitireti antioxidant ati awọn orisun antioxidant ti ṣe.Fun idi eyi, ọpọlọpọ awọn ile-iṣẹ asiwaju ti yan imọ-ẹrọ oxide DCA.Awọn ọna ṣiṣe semikondokito Apapo MBE ni a lo ni ayika agbaye.Eto kaakiri nitrogen olomi VJ ti HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ati ohun elo MBE ti awọn awoṣe pupọ ti DCA ni iriri ibaramu ni ọpọlọpọ awọn iṣẹ akanṣe, gẹgẹbi awoṣe P600, R450, SGC800 ati be be lo.

tcm (2)

Table Performance

Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences
Ile-iṣẹ 11th ti China Electronics Technology Corporation
Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences
Huawei
Alibaba DAMO Academy
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Karun-26-2021