Iṣẹ́ Àgbékalẹ̀ MBE Chip tí a parí ní àwọn ọdún tó kọjá

Ìmọ̀-ẹ̀rọ

Ìlànà tuntun fún gbígbin àwọn fíìmù kirisita onípele gíga lórí àwọn ohun èlò ìṣàn kirisita. Ní àwọn ipò ìfọ́mọ́ra gíga, nípasẹ̀ ààrò gbígbóná, a ti pèsè gbogbo onírúurú àwọn ohun èlò tí a nílò, a sì ń mú kí èéfín jáde, nípasẹ̀ àwọn ihò tí a ṣe lẹ́yìn tí a bá ti sopọ̀ mọ́ ìlànà atomiki tàbí ìlànà molecular, abẹ́rẹ́ taara sí ìwọ̀n otútù tí ó yẹ ti ohun èlò ìṣàn kirisita onípele kan, tí ó ń ṣàkóso ìlànà molecular sí ohun èlò ìṣàyẹ̀wò ní àkókò kan náà, ó lè mú kí àwọn ohun èlò tàbí átọ̀mù nínú àwọn ìpele ìṣètò kirisita ṣẹ̀dá fíìmù tín-ín-rín lórí ohun èlò ìṣàn "ìdàgbàsókè".

Fún ìṣiṣẹ́ déédéé ti àwọn ohun èlò MBE, ó ṣe pàtàkì kí a máa gbé nitrogen omi tó mọ́, tí ó ní ìfúnpá díẹ̀ àti nitrogen omi tó mọ́ tónítóní nígbà gbogbo sí yàrá ìtútù ti ohun èlò náà. Ní gbogbogbòò, ojò kan tó ń pèsè nitrogen omi ní ìfúnpá tí ó wà láàrín 0.3MPa àti 0.8MPa. A máa ń mú nitrogen omi ní -196℃ gbẹ sínú nitrogen nígbà tí a bá ń gbé epo. Nígbà tí a bá ti fi gas sí nitrogen omi pẹ̀lú ìpíndọ́gba gaasi-omi tó tó 1:700 nínú ojò náà, yóò gba ààyè púpọ̀ nínú omi nitrogen omi, yóò sì dín ìṣàn omi tó wà ní ìparí ojò nitrogen omi kù. Ní àfikún, nínú ojò ìpamọ́ nitrogen omi, ó ṣeé ṣe kí àwọn èérún tí a kò tíì fọ̀ mọ́ wà. Nínú ojò nitrogen omi, wíwà afẹ́fẹ́ omi yóò tún yọrí sí ìṣẹ̀dá yìnyín. Tí a bá tú àwọn èérí wọ̀nyí sínú ohun èlò náà, yóò fa ìbàjẹ́ tí a kò lè sọ tẹ́lẹ̀ fún ohun èlò náà.

Nítorí náà, a máa ń gbé nitrogen olomi tí ó wà nínú àpò ìpamọ́ níta lọ sí ẹ̀rọ MBE ní ibi iṣẹ́ tí kò ní eruku pẹ̀lú iṣẹ́ tó ga, ìdúróṣinṣin àti mímọ́ tónítóní, àti pé ìfúnpá kékeré, kò sí nitrogen, kò sí àìmọ́, wákàtí mẹ́rìnlélógún láìsí ìdádúró, irú ètò ìṣàkóso ìrìnnà bẹ́ẹ̀ jẹ́ ọjà tó péye.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Àwọn ohun èlò MBE tó báramu

Láti ọdún 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ti ń ṣe àtúnṣe àti mú ètò yìí sunwọ̀n síi àti láti bá àwọn olùpèsè ohun èlò MBE kárí ayé ṣiṣẹ́ pọ̀. Àwọn olùpèsè ohun èlò MBE, títí bí DCA, REBER, ní àjọṣepọ̀ pẹ̀lú ilé-iṣẹ́ wa. Àwọn olùpèsè ohun èlò MBE, títí bí DCA àti REBER, ti fọwọ́sowọ́pọ̀ nínú ọ̀pọ̀lọpọ̀ iṣẹ́ àgbékalẹ̀.

Riber SA jẹ́ olùpèsè ọjà molecular beam epitaxy (MBE) àti àwọn iṣẹ́ tó jọmọ́ fún ìwádìí compound semiconductor àti àwọn ohun èlò ilé iṣẹ́. Ẹ̀rọ Riber MBE lè fi àwọn ohun èlò tó fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́ sí orí substrate náà, pẹ̀lú àwọn ìṣàkóso tó ga. Ẹ̀rọ ìgbàlejò HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ní Riber SA. Ẹ̀rọ tó tóbi jùlọ ni Riber 6000 àti èyí tó kéré jùlọ ni Compact 21. Ó wà ní ipò tó dára, àwọn oníbàárà sì ti mọ̀ ọ́n.

DCA ni oxide MBE tó gbajúmọ̀ jùlọ lágbàáyé. Láti ọdún 1993, wọ́n ti ń ṣe àgbékalẹ̀ àwọn ọ̀nà ìfọ́mọ́ra, ìgbóná ohun èlò antioxidant substrate àti àwọn orísun antioxidant. Nítorí èyí, ọ̀pọ̀ àwọn ilé ìwádìí tó gbajúmọ̀ ló ti yan ìmọ̀ ẹ̀rọ DCA oxide. Wọ́n ń lo àwọn ètò MBE semiconductor tó jẹ́ àkójọpọ̀ kárí ayé. Ètò VJ liquid nitrogen circulating system ti HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) àti ohun èlò MBE ti ọ̀pọ̀ àwọn àpẹẹrẹ DCA ní ìrírí tó báramu nínú ọ̀pọ̀lọpọ̀ iṣẹ́, bíi àpẹẹrẹ P600, R450, SGC800 àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.

tcm (2)

Tábìlì Ìṣe-iṣẹ́

Ile-ẹkọ giga Shanghai ti Fisiksi Imọ-ẹrọ, Ile-ẹkọ giga ti Imọ-jinlẹ ti Ilu China
Ile-iṣẹ Imọ-ẹrọ Itanna 11th ti China
Ilé-ẹ̀kọ́ àwọn amúṣẹ́dá Semiconductors, Ilé-ẹ̀kọ́ sáyẹ́ǹsì ti Ṣáínà
Huawei
Ilé-ẹ̀kọ́ gíga Alibaba DAMO
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Àkókò ìfìwéránṣẹ́: May-26-2021