Àkótán ti Molecular Beam Epitaxy (MBE)
A ṣe agbekalẹ imọ-ẹrọ Molecular Beam Epitaxy (MBE) ni awọn ọdun 1950 lati pese awọn ohun elo fiimu tinrin semiconductor nipa lilo imọ-ẹrọ vacuum evaporation. Pẹlu idagbasoke ti imọ-ẹrọ vacuum giga, lilo imọ-ẹrọ ti a ti tàn kaakiri si aaye imọ-ẹrọ semiconductor.
Ohun tó ń mú kí ìwádìí àwọn ohun èlò semiconductor máa wá ni bí a ṣe ń béèrè fún àwọn ẹ̀rọ tuntun, èyí tó lè mú kí iṣẹ́ ètò náà sunwọ̀n sí i. Ní ọ̀nà mìíràn, ìmọ̀ ẹ̀rọ tuntun lè mú kí ẹ̀rọ tuntun àti ìmọ̀ ẹ̀rọ tuntun jáde. Ìmọ̀ ẹ̀rọ molikula béam epitaxy (MBE) jẹ́ ìmọ̀ ẹ̀rọ ìgbàfẹ́ gíga fún ìdàgbàsókè epitaxial (nígbà gbogbo semiconductor). Ó ń lo iná ooru ti àwọn átọ̀mù orísun tàbí àwọn molecule tó ń nípa lórí ohun èlò kristali kan ṣoṣo. Àwọn ànímọ́ ìgbàfẹ́ gíga ti ìlànà náà ń gba ìṣẹ̀dá in-situ àti ìdàgbàsókè àwọn ohun èlò ìdábòbò lórí àwọn ojú ilẹ̀ semiconductor tuntun, èyí tó ń yọrí sí àwọn ìsopọ̀ tí kò ní ìbàjẹ́.
Imọ-ẹrọ MBE
A ṣe epitaxy molecular beam epitaxy ninu vacuum giga tabi ultra-high vacuum (1 x 10-8Pa) àyíká. Apá pàtàkì jùlọ nínú epitaxy molecular beam ni ìwọ̀n ìfipamọ́ rẹ̀ tí ó kéré, èyí tí ó sábà máa ń jẹ́ kí fíìmù náà dàgbà ní ìwọ̀n tí ó kéré sí 3000 nm fún wákàtí kan. Irú ìwọ̀n ìfipamọ́ tí ó kéré bẹ́ẹ̀ nílò ìfọ́mọ́ tí ó ga tó láti dé ìpele ìmọ́tótó kan náà gẹ́gẹ́ bí àwọn ọ̀nà ìfipamọ́ mìíràn.
Láti pàdé ìfọ́mọ́ tó ga jùlọ tí a ṣàlàyé lókè yìí, ẹ̀rọ MBE (Knudsen cell) ní ìpele ìtutù, àti pé àyíká ìfọ́mọ́ tó ga jùlọ ti yàrá ìdàgbàsókè gbọ́dọ̀ wà ní ìtọ́jú nípa lílo ètò ìṣàn nitrogen omi. Nitrogen omi ń tutù inú ẹ̀rọ náà sí 77 Kelvin (−196 °C). Ayíká ìtutù tó kéré lè dín àkójọpọ̀ àwọn ohun ìdọ̀tí nínú ìfọ́mọ́ kù kí ó sì pèsè àwọn ipò tó dára jù fún ìfipamọ́ àwọn fíìmù tín-tín. Nítorí náà, ètò ìtútù nitrogen omi pàtàkì kan nílò fún ẹ̀rọ MBE láti pèsè ìpèsè nitrogen omi -196 °C tí ó dúró ṣinṣin àti tí ó dúró ṣinṣin.
Ètò Ìtútù Nitrogen Omi
Eto itutu afẹfẹ omi nitrogen ni pataki pẹlu,
● ojò onígbóná janjan
● Pọ́ọ̀pù onígi ...
● Pẹpẹ eefin ti a fi aṣọ pamọ́ ati jaketi pataki ti MBE
● oniruuru awọn falifu ti a fi jaketi afẹfẹ ṣe
● idena gaasi-omi
● àlẹ̀mọ́ tí a fi aṣọ ìfọṣọ ṣe
● eto fifa fifa afẹfẹ agbara
● Ètò ìgbóná tuntun àti ìtútù ṣáájú kí ó tó di ìgbà tí a bá fẹ́ mú un gbóná
Ilé-iṣẹ́ HL Cryogenic Equipment ti kíyèsí ìbéèrè fún ètò ìtútù omi nitrogen MBE, ẹ̀gbẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ tí a ṣètò láti ṣe àṣeyọrí nínú ṣíṣe ètò ìtútù omi nitrogen MBE pàtàkì fún ìmọ̀-ẹ̀rọ MBE àti àpapọ̀ ìdènà afẹ́fẹ́ pátápátá.edeto páìpù, eyi ti a ti lo ni ọpọlọpọ awọn ile-iṣẹ, awọn ile-ẹkọ giga ati awọn ile-iṣẹ iwadii.
Ohun èlò HL Cryogenic
HL Cryogenic Equipment tí a dá sílẹ̀ ní ọdún 1992 jẹ́ orúkọ ìtajà kan tí ó ní í ṣe pẹ̀lú Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company ní China. HL Cryogenic Equipment ti fi ara rẹ̀ fún ṣíṣe àwòrán àti ṣíṣe High Vacuum Insulated Cryogenic Pipe System àti àwọn ohun èlò ìrànlọ́wọ́ tí ó jọ mọ́ ọn.
Fun alaye siwaju sii, jọwọ ṣabẹwo si oju opo wẹẹbu osisewww.hlcryo.com, tabi fi imeeli ranṣẹ siinfo@cdholy.com.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: May-06-2021