Finifini ti Epitaxy Molecular Beam (MBE)
Imọ-ẹrọ ti Molecular Beam Epitaxy (MBE) ni idagbasoke ni awọn ọdun 1950 lati mura awọn ohun elo fiimu tinrin semikondokito nipa lilo imọ-ẹrọ evaporation igbale.Pẹlu idagbasoke ti imọ-ẹrọ igbale giga-giga, ohun elo ti imọ-ẹrọ ti gbooro si aaye ti imọ-jinlẹ semikondokito.
Iwuri ti iwadii awọn ohun elo semikondokito jẹ ibeere fun awọn ẹrọ tuntun, eyiti o le mu iṣẹ ṣiṣe ti eto naa dara.Ni ọna, imọ-ẹrọ ohun elo tuntun le ṣe agbejade ohun elo tuntun ati imọ-ẹrọ tuntun.Molecular beam epitaxy (MBE) jẹ imọ-ẹrọ igbale giga fun idagba epitaxial Layer (nigbagbogbo semikondokito).O nlo ina gbigbona ti awọn ọta orisun tabi awọn moleku ti o ni ipa sobusitireti gara kan.Awọn abuda igbale giga-giga ti ilana naa ngbanilaaye iṣelọpọ ipo-ipo ati idagbasoke ti awọn ohun elo idabobo lori awọn ipele semikondokito tuntun ti o dagba, ti o yorisi awọn atọkun ti ko ni idoti.
MBE ọna ẹrọ
Epitaxy tan ina molikula ni a gbe jade ni igbale giga tabi igbale giga-giga (1 x 10-8Pa) ayika.Abala ti o ṣe pataki julọ ti epitaxy molecular beam molecular jẹ oṣuwọn isọkusọ kekere rẹ, eyiti o maa n gba fiimu laaye lati dagba epitaxial ni iwọn ti o kere ju 3000 nm fun wakati kan.Iru oṣuwọn ifisilẹ kekere nilo igbale giga to lati ṣaṣeyọri ipele mimọ kanna bi awọn ọna fifisilẹ miiran.
Lati pade igbale giga-giga ti a ṣalaye loke, ẹrọ MBE (Knudsen cell) ni Layer itutu agbaiye, ati agbegbe igbale giga-giga ti iyẹwu idagba gbọdọ wa ni itọju nipa lilo eto sisan nitrogen olomi.nitrogen olomi n tutu otutu inu ẹrọ naa si 77 Kelvin (-196 °C).Ayika iwọn otutu kekere le dinku akoonu ti awọn idoti ni igbale ati pese awọn ipo to dara julọ fun ifisilẹ awọn fiimu tinrin.Nitorinaa, eto sisan omi itutu agbaiye nitrogen ti a ṣe iyasọtọ ni a nilo fun ohun elo MBE lati pese ipese lilọsiwaju ati iduroṣinṣin ti nitrogen olomi -196 °C.
Liquid Nitrogen Itutu Circulation System
Eto sisan omi itutu agbaiye nitrogen ni akọkọ pẹlu,
● cryogenic ojò
● akọkọ ati eka igbale jaketi paipu / igbale jaketi okun
● MBE pataki alakoso separator ati igbale jaketi eefi paipu
● orisirisi igbale jaketi falifu
● idena gaasi-omi
● igbale jaketi àlẹmọ
● ìmúdàgba igbale fifa eto
● Precooling ati ki o nu reheating eto
Ile-iṣẹ Ohun elo Cryogenic ti HL ti ṣe akiyesi ibeere ti eto itutu agba omi nitrogen MBE, ẹhin imọ-ẹrọ ti a ṣeto lati ṣaṣeyọri idagbasoke eto iyẹfun nitrogen olomi MBE pataki kan fun imọ-ẹrọ MBE ati ipilẹ pipe ti insulat igbaleedeto fifin, eyiti o ti lo ni ọpọlọpọ awọn ile-iṣẹ, awọn ile-ẹkọ giga ati awọn ile-iṣẹ iwadii.
HL Cryogenic Equipment
Ohun elo Cryogenic HL eyiti o da ni ọdun 1992 jẹ ami iyasọtọ ti o somọ si Ile-iṣẹ Ohun elo Mimọ Cryogenic Chengdu ni Ilu China.HL Cryogenic Equipment ti ni ifaramọ si apẹrẹ ati iṣelọpọ ti Eto Imudaniloju Cryogenic Ti o ga julọ ati Awọn Ohun elo Atilẹyin ti o ni ibatan.
Fun alaye diẹ sii, jọwọ lọsi oju opo wẹẹbu osisewww.hlcryo.com, tabi imeeli siinfo@cdholy.com.
Akoko ifiweranṣẹ: May-06-2021