Nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ semiconductor, a retí pé àwọn ètò ìpínkiri cryogenic yóò ṣe ju gbígbé nitrogen tàbí argon omi láti ibi kan sí òmíràn lọ. Omi náà gbọ́dọ̀ dúró ṣinṣin, mọ́, àti ní ìpele kan ṣoṣo títí dé ibi tí a ti ń lò ó. Kódà ìwọ̀nba ooru díẹ̀ tí a ń gbà lè mú kí gáàsì flash, ìyípadà titẹ, tàbí ìbàjẹ́ ọrinrin tí ó lè nípa lórí ìdúróṣinṣin iṣẹ́ náà.

Ìdí nìyí tí a fi ń sọ̀rọ̀ yìíPípù ìfọṣọ tí a fi iná mànàmáná ṣeÀwọn ètò ni a sábà máa ń lò nínú àwọn ohun èlò ìdáná-ẹ̀rọ semiconductor dípò àwọn ohun èlò ìdáná-ẹ̀rọ onífọ́ọ́mù. Nígbà tí a bá so wọ́n pọ̀ mọ́ ohun èlò tí a ṣàkóso dáadáa.Eto Fọpu Igbale Yiyi, gbogbo ooru jijo le wa ni isalẹ 3 W/m lakoko ti o n ṣetọju iduroṣinṣin igba pipẹ ni gbogbo laini gbigbe.

Fún àwọn ohun èlò semiconductor, a kò gbọdọ̀ wo ìdènà ìfọ́mọ́ gẹ́gẹ́ bí ìpele aláìlágbára ní àyíká páìpù náà. Ó jẹ́ ètò ooru tí ń ṣiṣẹ́ tí ó nílò iṣẹ́ ìfọ́mọ́ tí a lè wọ̀n àti ìtọ́jú ìgbà pípẹ́. Ní àwọn àyíká ìṣelọ́pọ́ ërún tí ó péye, àní ìbísí díẹ̀ nínú ìwọ̀n otútù omi lè yọrí sí àwọn ipò ìṣàn onípele méjì tí ó ń dí àwọn àyíká ìtútù, àwọn ètò ìwẹ̀nùmọ́, tàbí àwọn ohun èlò ìṣàkóso iṣẹ́ lọ́wọ́.

Idi ti Jijo Ooru fi ṣe pataki ninu Awọn Eto Semiconductor Cryogenic

Gbogbo laini gbigbe ooru ni o ni ipa nipasẹ awọn ọna gbigbe ooru akọkọ mẹta:

• ìtànṣán káàkiri ààyè annular
• ìfàsẹ́yìn gaasi tí àwọn molecule tí ó kù ń fà
• ìfàsẹ́yìn tó lágbára nípasẹ̀ àwọn ìtìlẹ́yìn àti àwọn àlàfo

Ni apẹrẹ ti o yẹPípù ìfọṣọ tí a fi iná mànàmáná ṣe, titẹ annular maa n dinku ni isalẹ 1×10⁻⁴ Pa. Ni ipele vacuum yẹn, awọn molikula gaasi ti o ku ni ipa-ọna ọfẹ apapọ ti o tobi ju ela annular lọ, eyiti o dinku itusilẹ ooru gaasi pupọ.

A n ṣakoso gbigbe ooru rediositiki nipa lilo idabobo oni-ipele pupọ (MLI). Idabobo naa ni awọn fẹlẹfẹlẹ iyipada ti foil reflective ati ohun elo spacer kekere-conductivity. Pẹlu iwuwo fẹlẹfẹlẹ ti o tọ ati ọna fifi sori ẹrọ, ṣiṣan ooru rediositiki le dinku si watts diẹ fun mita onigun mẹrin.

Ọ̀nà ooru tó kù wá láti ọ̀dọ̀ àwọn ìtìlẹ́yìn ẹ̀rọ. Láti dín ipa yìí kù, àwọn ohun èlò tí kò ní agbára ìfàsẹ́yìn bíi G-10 fiberglass tàbí Torlon® ni a sábà máa ń lò. Àwọn ìtìlẹ́yìn wọ̀nyí ṣì nílò agbára ẹ̀rọ tó láti fara da ìfàsẹ́yìn ooru, ìgbọ̀nsẹ̀, àti ìṣàn omi nígbà tí a bá ń ṣiṣẹ́.

Ní àwọn ọ̀nà jíjìn tí a fi ń gbé e lọ sí ọ̀nà jíjìn, ìyàtọ̀ láàárín ìdènà ìgbálẹ̀ àti ìdènà ìgbálẹ̀ máa ń hàn gbangba. Ètò ìdènà ìgbálẹ̀ tí a tọ́jú dáadáa lè mú kí iṣẹ́ ooru dúró ṣinṣin fún ọ̀pọ̀ ọdún, nígbà tí ìdènà ìgbálẹ̀ ìgbálẹ̀ ìgbálẹ̀ ìgbálẹ̀ máa ń fa omi láti inú afẹ́fẹ́ díẹ̀díẹ̀. Nígbà tí ọrinrin bá wọ inú ètò ìdènà ìgbálẹ̀ ìgbálẹ̀ ìgbálẹ̀ ìgbálẹ̀ tí ó sì di dìdì, agbára ìdènà ìgbálẹ̀ máa ń dínkù bí àkókò ti ń lọ.

Nínú àwọn ètò ìpínkiri LN₂ semiconductor tó wúlò,awọn paipu ti a fi afẹ́fẹ́ ṣele dinku ifun omi pupọ ni akawe pẹlu awọn laini ibile ti a fi foomu bo, paapaa ni awọn ipa ọna ita gbangba gigun tabi ṣiṣẹ nigbagbogbo awọn akọle akọkọ.

Eto Fọpu Igbale Yiyi

Ọ̀kan lára ​​ìṣòro tó wà nínú àwọn aṣọ ìbora tí kò dúró ni pé dídára ẹ̀rọ ìbora lè máa bàjẹ́ díẹ̀díẹ̀ ní ọ̀pọ̀ ọdún nítorí ìgbóná tí ń jáde, ìfàsẹ́yìn helium, tàbí jíjìn omi kékeré.

Lati yanju eyi, lo iwọn ila opin nlaPípù ìfọṣọ tí a fi iná mànàmáná ṣeawọn eto le ni ipese pẹluEto Fọpu Igbale YiyiÈtò náà sábà máa ń ní ètò ìfọ́mọ́lẹ̀ tàbí ẹ̀rọ ìfọ́mọ́lẹ̀ tí ó máa ń mú kí afẹ́fẹ́ annular padà sí ipò ìṣẹ̀dá rẹ̀ tẹ́lẹ̀.

A máa ń ṣe àyẹ̀wò ipele ìfọ́mọ́ nígbà gbogbo nípa lílo àwọn ìwọ̀n ìfọ́mọ́ra olómi tútù. Pọ́ǹpù náà máa ń ṣiṣẹ́ nígbà tí ìfúnpá bá ga ju ibi tí a ti ṣètò fún un lọ, nítorí náà, agbára àti àìní ìtọ́jú kò pọ̀ tó bẹ́ẹ̀.

Nínú iṣẹ́ àtúnṣe ilé-iṣẹ́ semiconductor kan ní Hsinchu, Taiwan, ètò ìfúnpọ̀ omi ìfọ́ tí a ń ṣàkóso dáadáa jẹ́ kí orí ìyípadà LN₂ tí ó ti gbó padà láti mú iṣẹ́ ooru padà sí ipò ìṣiṣẹ́ rẹ̀ láìsí pípa ìlà iṣẹ́ náà. Fún àwọn iṣẹ́ tuntun, ìtọ́jú omi ìfọ́ náà tún fún àwọn olùṣiṣẹ́ ní ìgbẹ́kẹ̀lé tó dára jù nínú ìdúróṣinṣin ìdábòbò ìgbà pípẹ́ jálẹ̀ gbogbo ìgbà iṣẹ́ ètò náà.

Àwọn Ohun Èlò àti Ìṣètò Ètò

Fún àwọn ohun èlò ìṣiṣẹ́ semiconductor àti ultra-high-cleity, a sábà máa ń ṣe páìpù iṣẹ́ inú láti inú irin alagbara 304L tàbí 316L. A máa ń fọ àwọn ojú inú, a máa ń fọ wọ́n, a sì máa ń fi wọ́n ṣe é láti bá àwọn ohun tí a nílò fún iṣẹ́ mímọ́ atẹ́gùn mu, àti láti dín ewu ìbàjẹ́ kù.

Jaketi ita le lo irin erogba ti a kun tabi irin alagbara ti o da lori agbegbe fifi sori ẹrọ. Ni awọn agbegbe ti o wa nitosi yara mimọ, awọn jaketi ita alagbara ni a maa n fẹran lati yago fun ibajẹ tabi ibajẹ oju ilẹ.

Ó tún ṣe pàtàkì láti ronú nípa ìfàsẹ́yìn ooru pẹ̀lú ìṣọ́ra. Okùn gbigbe LN₂ lè gùn tó nǹkan bí 2.5–3 mm fún mítà kan láàárín ìwọ̀n otútù àyíká àti ìwọ̀n otútù iṣiṣẹ́. Láti gba ìṣípo yìí, a sábà máa ń fi àwọn ohun ìfàsẹ́yìn ìfàsẹ́yìn onírúurú bellows sí àwọn ibi ìdákọ̀ró tí a ṣírò jákèjádò nẹ́tíwọ́ọ̀kì páìpù.

Níbi tí a bá nílò ìṣíkiri tàbí ìyípadà,Okun Yiyi Ti a Fi Omi PamọÀwọn ibi tí a sábà máa ń kó àwọn ohun èlò jọ ni a sábà máa ń lò. Àwọn ibi tí a sábà máa ń lò ni àwọn ìsopọ̀ ojò, àwọn ohun èlò tí a so mọ́ ara wọn, àwọn ẹ̀ka onípele, àti àwọn ohun èlò tí a fi ń gbé nǹkan kiri.

Àwọn páìpù onírọ̀rùn wọ̀nyí lo kọ́ọ̀bù inú pẹ̀lú aṣọ ìbora àti ìrísí MLI tí ó jọ páìpù onírọ̀rùn líle. Àwọn àkójọpọ̀ tí a ṣe ní ọ̀nà tí ó tọ́ lè pa ìdúróṣinṣin ìgbóná mọ́ lẹ́yìn tí a bá ń yípo ooru tí ó ń gbóná padà, nígbàtí ó tún ń dènà ìṣẹ̀dá yìnyín òde tí ó wọ́pọ̀ lórí àwọn páìpù onírọ̀rùn tí kò ní ìbòrí.

Àwọn fáfà ìfọ́mọ́ tí a fi iná mànàmáná ṣeàtiÀwọn Olùpín Ìpele

Ṣíṣe àkóso ìjó ooru kò mọ sí àwọn ẹ̀ka páìpù tí ó tààrà nìkan.àwọn ìpínyà ìpeletun ṣe ipa pataki ninu mimu awọn ipo sisan ti o duro ṣinṣin.

A Ààbò tí a fi iná pa mọ́Ó sábà máa ń lo bonnet gígùn àti ara tí a fi afẹ́fẹ́ ṣe láti pa àwọn ibi ìdènà pàtàkì mọ́ kúrò lọ́wọ́ ooru tí ó lọ sílẹ̀ gidigidi. Èyí ń ran lọ́wọ́ láti dènà dídì ní àyíká ìdìpọ̀ igi àti láti dín ìtújáde tí a kò fẹ́ nínú ètò fáìlì kù.

Láìsí ìdábòbò ìfọ́mọ́, àwọn fáfà lè di àwọn ibi tí ooru ti ń yọ́ jáde nínú ètò náà. Nínú iṣẹ́ omi tí ń mú kí ooru gbóná, èyí lè fa àwọn àpò ìfọ́mọ́ tí a lè lò ní agbègbè, àwọn ipò ìṣàn omi tí kò dúró dáadáa, tàbí àwọn ìṣẹ̀lẹ̀ ìfọ́mọ́ omi.

Fún àwọn ètò ìṣiṣẹ́ semikondokito, àwọn fáfà bonnet globe àti àwọn fáfà ball top-entry ni a sábà máa ń lò ní ìbámu pẹ̀lú àwọn ìbéèrè ASME B31.3 àti EN 13480.

A Asọpa Ipele Asọpa Ti a DaboboA lo lati mu gaasi filasi kuro ki omi to wọ inu awọn ẹrọ isale ti o ni imọlara. Ninu awọn ohun elo semiconductor, sisan ipele meji ti ko duro le ṣẹda awọn iyipada titẹ ti o tobi to lati fa awọn itaniji ilana tabi awọn asopọ ẹrọ.

Ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn apẹẹrẹ ìyàsọ́tọ̀ lo ọ̀nà ìfàmọ́ra pẹ̀lú ètò ìdènà inú láti mú kí iṣẹ́ ìyàsọ́tọ̀ afẹ́fẹ́-omi sunwọ̀n síi. Nínú ọ̀pọ̀lọpọ̀ iṣẹ́ àkànṣe, a so ìpínyà pọ̀ mọ́ Àpò kékeré kan tí a fi sínú ẹ̀rọ náà nítòsí ilẹ̀ iṣẹ́ náà. Àpò kékeré náà ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí ìwọ̀n ìpamọ́ agbègbè tí ó ń ran lọ́wọ́ láti mú kí àwọn ìyípadà ìbéèrè fún ìgbà kúkúrú dúró láìsí fífi agbára ooru tó ṣe pàtàkì kún un.

Àpẹẹrẹ Iṣẹ́ Àgbékalẹ̀ Semiconductor

Iṣẹ́ ìfẹ̀sí ilé iṣẹ́ DRAM ní Gúúsù Kòríà nílò nẹ́tíwọ́ọ̀kì ìpínkiri LN₂ tuntun tí ó ń ṣiṣẹ́ pẹ̀lú àwọn ohun èlò ìdánwò tí a fi imú rì àti àwọn irinṣẹ́ ìṣiṣẹ́ wafer.

Fífi sori ẹrọ naa pẹlu fere mita 180 ti Paipu Insulated Vacuum ti a so mọ ọpọlọpọ awọn ẹka irinṣẹ nipasẹ awọn apejọ Okun Flexible Vacuum Insulated. A fi ẹrọ iyasọtọ Vacuum Insulated Phase Separator ati Tanki kekere 2 m³ sori ẹrọ nitosi agbegbe ibi ipamọ pupọ.

Ètò Ẹ̀rọ Ẹ̀rọ Ẹ̀rọ Ẹ̀rọ Dynamic Vacuum Pump ń mú kí ìfúnpá annular wà ní ìsàlẹ̀ 5×10⁻⁶ mbar lórí àwọn ìlà ìyípadà 6-inch pàtàkì.

Nígbà tí wọ́n ń ṣiṣẹ́, ìjìnná ooru tí wọ́n wọ̀n lórí orí àkọ́kọ́ jẹ́ nǹkan bí 1.3 W/m lábẹ́ àwọn ipò iṣẹ́ tí ó dúró ṣinṣin. Lẹ́yìn ọdún kan tí wọ́n ti ń ṣiṣẹ́ déédéé, àwọn ìyípo ìgbàpadà ìgbàkúgbà mú kí iṣẹ́ ìdábòbò náà sún mọ́ ipò ìpìlẹ̀ àkọ́kọ́.

Ní ìfiwéra pẹ̀lú èrò tí a fi foomu ṣe tẹ́lẹ̀, ilé iṣẹ́ náà ròyìn pé àwọn ìpàdánù nitrogen omi dínkù àti pé ó mú kí ìdúróṣinṣin iṣẹ́ wọn sunwọ̀n síi. Àwọn àkọsílẹ̀ iṣẹ́ náà kò fi àwọn ìṣẹ̀lẹ̀ ìbàjẹ́ tí ó ní í ṣe pẹ̀lú ọrinrin tí ó ní í ṣe pẹ̀lú ìbàjẹ́ ìdábòbò hàn.

Àwọn ohun èlò ìlò

Àwọn ètò ìyípadà tí a fi ìdènà èéfín ṣe ni a lò fún iṣẹ́-ṣíṣe semikondokito, ètò LNG, ìpínkiri gaasi ilé-iṣẹ́, àti àwọn ohun èlò hydrogen olomi.

Bó tilẹ̀ jẹ́ pé àyíká iṣẹ́ náà yàtọ̀ síra, ète ìmọ̀ ẹ̀rọ náà ṣì jẹ́ ọ̀kan náà:

• ṣetọju iduroṣinṣin afẹfẹ
• dinku wiwọle ooru
• ṣe itọju iduroṣinṣin ipele jakejado ilana gbigbe

Ṣíṣe ètò náà sábà máa ń tẹ̀lé àwọn ìlànà àgbáyé bíi ASME B31.3, EN 13480, àti ISO 21029 ní ìbámu pẹ̀lú ìwọ̀n iṣẹ́ náà àti àwọn ohun tí a nílò ní agbègbè.

Fún àwọn ohun èlò semiconductor, iṣẹ́ ètò ìpínkiri cryogenic ní ipa taara lórí ìṣiṣẹ́, lílo omi, àti ìgbẹ́kẹ̀lé iṣẹ́ ìgbà pípẹ́. Nítorí èyí, ó yẹ kí a ṣe àgbékalẹ̀ àwọn páìpù, àwọn fáfà, àwọn ìpínyà, àti àwọn ètò ìtọ́jú afẹ́fẹ́ gẹ́gẹ́ bí ètò ooru kan ṣoṣo dípò àwọn èròjà aláìdádúró.

At HL Cryogenics, a n ṣiṣẹ pẹlu awọn alagbaṣe EPC, awọn ile-iṣẹ gaasi, ati awọn ohun elo semiconductor lati ṣe agbekalẹ awọn solusan gbigbe cryogenic ti o da lori awọn ipo iṣiṣẹ gidi, awọn ibi-afẹde fifuye ooru, ati awọn ibeere fifi sori ẹrọ dipo awọn iṣeto katalogi boṣewa.

Tí o bá ń gbèrò iṣẹ́ tuntun kan fún semiconductor fab tàbí tí o bá ń ṣe àtúnṣe sí nẹ́tíwọ́ọ̀kì ìpínkiri LN₂ tó wà tẹ́lẹ̀, ẹgbẹ́ onímọ̀ ẹ̀rọ wa lè ṣe ìrànlọ́wọ́ láti ṣe àyẹ̀wò iṣẹ́ ìtújáde ooru, ọgbọ́n ìfọ́mọ́, àti ìṣètò ètò fún iṣẹ́ ìgbà pípẹ́.