Epitaxy tan ina ti iṣan, tabi MBE, jẹ ilana tuntun fun idagbasoke awọn fiimu tinrin didara ti awọn kirisita lori awọn sobusitireti gara. Ni awọn ipo igbale giga-giga, nipasẹ adiro alapapo ti ni ipese pẹlu gbogbo iru awọn paati ti o nilo ati ṣe ina, nipasẹ awọn iho ti a ṣẹda lẹhin collimating tanam atomiki tabi tan molikula, abẹrẹ taara si iwọn otutu ti o yẹ fun ọkan sobusitireti kristeni nikan, ṣiṣakoso tan ina molikula si Antivirus sobusitireti ni akoko kanna, o le ṣe awọn ohun elo tabi awọn ọta inu awọn fẹlẹfẹlẹ titete gara lati ṣe fiimu fẹẹrẹ lori sobusitireti “idagba”.

Fun iṣẹ deede ti ohun elo MBE, mimọ giga, titẹ kekere ati nitrogen olomi olomi mimọ ni a nilo lati wa ni igbagbogbo ati gbigbe iduroṣinṣin si iyẹwu itutu ti awọn ẹrọ. Ni gbogbogbo, ojò kan ti o pese nitrogen olomi ni titẹ titẹjade laarin 0.3MPa ati 0.8MPa.Liquid nitrogen ni -196 ℃ ni irọrun rọ sinu nitrogen lakoko gbigbe opo gigun epo. Lọgan ti nitrogen olomi pẹlu ipin omi-gaasi ti to 1: 700 ti wa ni gasified ninu opo gigun ti epo, yoo gba iye nla ti aaye ṣiṣan nitrogen olomi ati dinku ṣiṣan deede ni opin ti opo gigun epo nitrogen. Ni afikun, ninu apo omi ipamọ nitrogen olomi, o ṣee ṣe pe awọn idoti ti a ko ti nu. Ninu opo gigun epo nitrogen, aye ti tutu tutu yoo tun ja si iran ti slag yinyin. Ti a ba gba agbara awọn impurities wọnyi sinu ẹrọ naa, yoo fa ibajẹ ti a ko le sọ tẹlẹ si ẹrọ naa.

Nitorinaa, omi nitrogen ti o wa ninu apo ifipamọ ita gbangba ni gbigbe lọ si ohun elo MBE ninu idanileko ti ko ni eruku pẹlu ṣiṣe giga, iduroṣinṣin ati mimọ, ati titẹ kekere, ko si nitrogen, ko si awọn idoti, awọn wakati 24 ti ko ni idiwọ, iru eto iṣakoso irinna ọja ti o ni ẹtọ.