Iṣẹ Chip MBE Ti Pari ni Awọn Ọdun Ti O Ti kọja

Imọ-ẹrọ

Epitaxy tan ina ti iṣan, tabi MBE, jẹ ilana tuntun fun idagbasoke awọn fiimu tinrin didara ti awọn kirisita lori awọn sobusitireti gara. Ni awọn ipo igbale giga-giga, nipasẹ adiro alapapo ti ni ipese pẹlu gbogbo iru awọn paati ti o nilo ati ṣe ina, nipasẹ awọn iho ti a ṣẹda lẹhin collimating tanam atomiki tabi tan molikula, abẹrẹ taara si iwọn otutu ti o yẹ fun ọkan sobusitireti kristeni nikan, ṣiṣakoso tan ina molikula si Antivirus sobusitireti ni akoko kanna, o le ṣe awọn ohun elo tabi awọn ọta inu awọn fẹlẹfẹlẹ titete gara lati ṣe fiimu fẹẹrẹ lori sobusitireti “idagba”.

Fun iṣẹ deede ti ohun elo MBE, mimọ giga, titẹ kekere ati nitrogen olomi olomi mimọ ni a nilo lati wa ni igbagbogbo ati gbigbe iduroṣinṣin si iyẹwu itutu ti awọn ẹrọ. Ni gbogbogbo, ojò kan ti o pese nitrogen olomi ni titẹ titẹjade laarin 0.3MPa ati 0.8MPa.Liquid nitrogen ni -196 ℃ ni irọrun rọ sinu nitrogen lakoko gbigbe opo gigun epo. Lọgan ti nitrogen olomi pẹlu ipin omi-gaasi ti to 1: 700 ti wa ni gasified ninu opo gigun ti epo, yoo gba iye nla ti aaye ṣiṣan nitrogen olomi ati dinku ṣiṣan deede ni opin ti opo gigun epo nitrogen. Ni afikun, ninu apo omi ipamọ nitrogen olomi, o ṣee ṣe pe awọn idoti ti a ko ti nu. Ninu opo gigun epo nitrogen, aye ti tutu tutu yoo tun ja si iran ti slag yinyin. Ti a ba gba agbara awọn impurities wọnyi sinu ẹrọ naa, yoo fa ibajẹ ti a ko le sọ tẹlẹ si ẹrọ naa.

Nitorinaa, omi nitrogen ti o wa ninu apo ifipamọ ita gbangba ni gbigbe lọ si ohun elo MBE ninu idanileko ti ko ni eruku pẹlu ṣiṣe giga, iduroṣinṣin ati mimọ, ati titẹ kekere, ko si nitrogen, ko si awọn idoti, awọn wakati 24 ti ko ni idiwọ, iru eto iṣakoso irinna ọja ti o ni ẹtọ.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Ibamu ẹrọ MBE

Lati ọdun 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ti ni iṣapeye ati imudarasi eto yii ati ifowosowopo pẹlu awọn olupese ẹrọ agbaye ti MBE. Awọn olupese ohun elo MBE, pẹlu DCA, REBER, ni awọn ibatan iṣọpọ pẹlu ile-iṣẹ wa. Awọn olupese ohun elo MBE, pẹlu DCA ati REBER, ti ṣepọ ni nọmba nla ti awọn iṣẹ akanṣe.

Riber SA jẹ olupese agbaye ti awọn ọja apọju epitaxy (MBE) molikula ati awọn iṣẹ ti o jọmọ fun iwadi semikondokito ati awọn ohun elo ile-iṣẹ. Ẹrọ Riber MBE le fi awọn fẹlẹfẹlẹ tinrin ti ohun elo silẹ lori sobusitireti, pẹlu awọn idari giga pupọ. Awọn ohun elo igbale ti HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ti ni ipese pẹlu Riber SA Ẹrọ ti o tobi julọ ni Riber 6000 ati pe o kere julọ jẹ Iwapọ 21. O wa ni ipo ti o dara ati pe awọn alabara ti mọ ọ.

DCA jẹ ohun elo afẹfẹ akọkọ ti agbaye MBE. Lati ọdun 1993, idagbasoke eto-ẹrọ ti awọn imuposi ifoyina, alapapo sobusitireti antioxidant ati awọn orisun ẹda ara ni a ti ṣe. Fun idi eyi, ọpọlọpọ awọn kaarun iwakọ ti yan imọ ẹrọ oxide DCA. Apọju semikondokito awọn ọna šiše MBE ni a lo ni agbaye. Eto kaakiri nitrogen ti omi VJ ti HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ati ohun elo MBE ti awọn awoṣe pupọ ti DCA ni iriri ti o baamu ni ọpọlọpọ awọn iṣẹ akanṣe, gẹgẹ bi awoṣe P600, R450, SGC800 abbl.

tcm (2)

Tabili iṣẹ

Ile-ẹkọ Shanghai ti fisiksi Imọ-ẹrọ, Ile-ẹkọ giga ti Ṣaina
Ile-iṣẹ 11th ti Ile-iṣẹ Imọ-ẹrọ Itanna China
Institute of Semiconductors, Ile-ẹkọ giga ti Ilu Ṣaina
Huawei
Alibaba DAMO Academy
Imọ-ẹrọ Powertech Inc.
Delta Itanna Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Akoko ifiweranṣẹ: May-26-2021